氣體的監(jiān)測和分析是檢查氣體質(zhì)量、確保用氣點(diǎn)或用氣設(shè)備能所用高純氣體的重要手段，也是保證安全生產(chǎn)的重要措施。高純氣體的監(jiān)測與分析，只有采用先進(jìn)的分析方法和精密的分析儀器，才能獲得精i確的分析數(shù)據(jù)。
氣體監(jiān)測和分析的重要性
隨著晶片的幾何結(jié)構(gòu)縮小，集成電路集成度的不斷提高，氣體供應(yīng)，即使有極微量的氣態(tài)雜質(zhì)的沾污和極小的塵埃污染，高純氣體，也會(huì)給生產(chǎn)帶來嚴(yán)重的破壞性。
高純氣體-甲烷化學(xué)性質(zhì)
甲烷的化學(xué)性質(zhì)比較不活潑.常溫下，安徽氣體，很難與酸、堿、氧化劑等發(fā)生反應(yīng)，高純標(biāo)準(zhǔn)氣體，但在加熱情況下，它能與一些物質(zhì)時(shí)行反應(yīng)，在適當(dāng)條件下能發(fā)生氧化、鹵化、熱解等反應(yīng).
甲烷的可燃性、爆作性和毒性
甲烷是一種可燃性氣體，自燃點(diǎn)為537℃.甲烷與空氣的混合氣體在點(diǎn)燃時(shí)會(huì)發(fā)生爆作.在空氣中的體積爆i炸范圍為5.3-4.0%，質(zhì)量爆迷途知炸范圍為35-93毫克/升.甲烷與氧氣的體積爆i炸范圍懔8.25-55.8%.甲烷和氯i氣的混合氣，受到日光照射時(shí)，也容易引起爆i炸.
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